HORIBA MV-2000 系列混合注入系統(tǒng)液體汽化器介紹與參數(shù)信息

2025-05-13 09:32

HORIBA MV-2000 系列混合注入系統(tǒng)液體汽化器產(chǎn)品概述

MV-2000 系列液體汽化器由 HORIBA 開(kāi)發(fā)，采用創(chuàng)新的螺旋流加熱技術(shù)，能夠在低溫條件下穩(wěn)定地將液體原料汽化處理，特別適用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中“High-k”工藝液體等難處理源的精準(zhǔn)汽化。該系列支持高流量應(yīng)用，具備良好的耐腐蝕性能及高密封性，適用于多種腐蝕性液體（除 HCl、HF）之外的液體源。

HORIBA MV-2000 系列混合注入系統(tǒng)液體汽化器功能與特點(diǎn)

  • 應(yīng)用螺旋流加熱方法，實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定、連續(xù)的低溫汽化；
  • 支持大流量處理，適配高產(chǎn)線需求；
  • 適合熱解敏感性液體源的汽化場(chǎng)景；
  • 高密封性能，整體泄漏率 ≤ 1×10?? Pa·m³/s（He）；
  • 耐腐蝕結(jié)構(gòu)，接液部件采用 SUS316L 與 PFA 材質(zhì)；
  • 多種標(biāo)準(zhǔn)接口配置，便于集成至多種系統(tǒng)平臺(tái)；
  • 可選配更高密封等級(jí)的氣閥（內(nèi)漏標(biāo)準(zhǔn) ≤ 1×10?? Pa·m³/s）；
  • 轉(zhuǎn)換器內(nèi)置溫度感測(cè)與加熱控制單元，實(shí)現(xiàn)智能溫控；
  • K型熱電偶（CA）溫度傳感器，確保熱穩(wěn)定性；
  • 工作溫度范圍廣（15–50℃），適用于多種環(huán)境需求。

HORIBA MV-2000 系列混合注入系統(tǒng)液體汽化器技術(shù)參數(shù)（核心信息摘選）

  • 液體材料：除 HCl、HF 外的常規(guī)腐蝕性液體
  • 設(shè)置溫度：控制閥：最大140℃，蒸發(fā)器：最大200℃
  • 泄漏完整性：≤ 1×10?? Pa·m³/s（He）
  • 內(nèi)部泄漏標(biāo)準(zhǔn)：≤ 1×10?? Pa·m³/s（He）（可選 ≤ 1×10?? Pa·m³/s）
  • 潮濕部件材質(zhì)：SUS316L、PFA
  • 溫度傳感器：K型熱電偶（CA）
  • 耐壓性：1 MPa（表壓）
  • 接口配置：液體入口：1/8 VCR 公母載氣口；氣體出口：1/4 / 1/2 VCR
  • 工作溫度：15–50℃

HORIBA MV-2000 系列混合注入系統(tǒng)液體汽化器典型應(yīng)用場(chǎng)景

  • 半導(dǎo)體前道/后道制程中的液體源氣化供給系統(tǒng)
  • ALD、CVD 工藝中含腐蝕性液體的精準(zhǔn)輸送與汽化
  • 光電材料、化合物半導(dǎo)體、高端封裝等工藝線體配套汽化單元
  • 實(shí)驗(yàn)室或工藝開(kāi)發(fā)階段的高精度液體氣化測(cè)試設(shè)備